增强多层干涉镜的耐用性和可制造性的方法

摘要

本发明公开了增强多层干涉镜的耐用性和可制造性的方法。具体而言，公开了多层镜、方法和环形激光陀螺仪（RLG）。例如，该方法包括在基底上形成多个第一折射率光学材料层，在所述第一折射率光学材料层之间形成多个第二折射率光学材料层，在所述多个第一折射率光学材料层的最外层上形成耐用光学材料层，和在所述耐用光学材料层的表面上形成保护性材料外涂层。