一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法

摘要

本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种薄膜沉积镀膜系统，其包括：至少一组后处理装置，包括靠近所述薄膜两面并相对设置的高压电极板和接地电极板，所述高压电极板靠近所述薄膜的一面设置有用于镀膜老练的局部放电结构。本发明的薄膜沉积镀膜系统能够使电容器薄膜镀膜后薄膜表面较为平整、提高薄膜镀层的绝缘性能和稳定性能。