一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法

摘要

本发明提供了一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。采用磨料、表面活性剂、螯合剂、pH调节剂和去离子水配制成抛光液，实现蓝宝石衬底超光滑低损伤化学机械抛光，使用抛光液对蓝宝石衬底进行化学机械抛光，抛光垫材料为无纺布，压力为20‑40kPa，主盘转速为50‑70rpm，抛光液流量为10‑30ml/min。材料去除率达到8.1μm/h，表面粗糙度Ra可达0.4‑0.7nm。本发明实现了蓝宝石衬底的超光滑超低损伤化学机械抛光。