一种周期性调控二氧化钒薄膜相变性质的方法

摘要

本发明公开了一种周期性调控二氧化钒薄膜相变性质的方法，选取m切面蓝宝石制备基底样品，将上述基底样品进行高温退火处理使蓝宝石晶体表面产生重构，制备具有不同切面的基底样品，采用薄膜外延生长方法，选取多晶三氧化二钒靶材为原料，在具有不同切面的蓝宝石表面生长二氧化钒薄膜样品。本发明基于传统外延生长技术，将二氧化钒薄膜外延生长于经过高温退火m切面蓝宝石重构基片表面，在周期性重构表面的诱导下，氧化物薄膜应变在纳米尺度呈现不同的应变状态，最终在同一薄膜中周期性诱发两种不同的物理响应。本发明可以实现纳米尺度下周期性调控二氧化钒物理性质，便于实现该氧化物薄膜在微电子、光电子器件中的应用。