晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法

摘要

本发明公开了一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，包括步骤：获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；计算各步的预计结束时间；计算预计的纯DPML并计算归一化系数；对各步的预计作业用时进行归一化处理；更新各批次的预计工程时间；计算各预计作业总时间并调整形成调整后预计结束时间；获取实际作业相关时间；计算已跑过的各步的延迟时间；获取需去除延迟时间的各步的信息并计算扣除延迟时间；结合延迟时间，计算各步的含延迟预计结束时间。本发明能对跑货进度进行自动分析并实现准确预测，还能实现对可能的跑货阻碍站点进行提前预警。