机译:一种有效的模糊协作预测方法,用于预测晶圆制造中的工作周期时间
Department of Industrial Engineering and Systems Management, Feng Chia University 100, Wenhwa Rd., Seatwen, Taichung City 407, Taiwan;
Fuzzy collaborative forecasting; Cycle time; Fuzzy back propagation network; Wafer fabrication;
机译:晶圆制造工厂中精确,准确的作业周期时间预测与模糊数据挖掘方法
机译:晶圆制造工厂中精确,准确的作业周期时间预测与模糊数据挖掘方法
机译:晶圆制造周期时间估计的高效有效的模糊协作智能方法
机译:半导体晶圆制造系统中周期时间预测的混合数据驱动方法
机译:预测由于光学和EUV光刻制造工艺的相互作用而导致的器件晶圆上的覆盖错误
机译:通过自灌注纳米压印来实现晶片级纳米结构的经济高效制作的途径
机译:具有模糊数据挖掘方法的晶圆制造工厂中精确和准确的工作周期时间预测