蚀刻终点监控装置及蚀刻终点监控方法

摘要

本发明提供一种蚀刻终点监控装置及蚀刻终点监控方法。所述蚀刻终点监控装置包括：入射光源、反射镜及显色板；所述入射光源用于向待蚀刻的基板发射入射光；所述反射镜位于由所述待蚀刻的基板反射所述入射光产生的第一反射光的光路上，用于反射所述第一反射光，产生第二反射光照射至显色板上；所述显色板位于所述第二反射光的光路上，用于显示由所述第二反射光产生的光斑，利用待蚀刻的基板上不同膜层对所述入射光的反射特性的不同，使得显示板的光斑在不同的蚀刻阶段具有不同的强弱状态，从而能够根据所述光斑的强弱变化，快捷有效的监控蚀刻终点，促进蚀刻工艺的开发及蚀刻精度的提升。