一种2.5D叉指电极制作方法和叉指电极

摘要

本发明实施例提供一种2.5D叉指电极制作方法和叉指电极，在有电子束蒸发Cr/Au种子层的硅片上，将旋凃在种子层的光刻胶曝光、显影形成需要的电极图形，随后在金电镀液中进行脉冲电镀，根据需要通过调整电镀时间控制电极厚度。旨在增大电极厚度，进而可将待测物固定在电极之间，使电场完全覆盖待测物，且电极间的测试电场由边缘效应形成的弧形电场变为平行电场使检测信号更加稳定，最终提高检测电极的检测极限；另一方面由于电极厚度增加，电极的侧壁可以作为微流控的通道，与微流控系统结合完成检测的自动化。