石英玻璃坩埚及其制造方法以及使用了石英玻璃坩埚的单晶硅的制造方法

摘要

本发明提供一种能够经受多次提拉等极长时间的单晶提拉工序的石英玻璃坩埚及其制造方法。石英玻璃坩埚(1)具备：有底圆筒状坩埚主体(10)，由石英玻璃制成；以及第1含有结晶化促进剂的涂膜(13A)，通过基于切克劳斯基法进行的单晶硅的提拉工序中的加热，以在坩埚主体(10)的内表面(10a)的表层部形成由圆顶状或柱状晶粒的集合制成的内侧结晶层的方式形成于所述内表面(10a)。