一种波导光有源增益的实现方法、波导及光器件

摘要

本发明公开了一种波导光有源增益的实现方法、波导及光器件，涉及光通信器件技术领域。波导位于光子芯片上或者晶圆上，实现方法包括：在波导的指定区段上方制备窗口，使得指定区段暴露在光子芯片或者晶圆的表面上；对指定区段进行离子掺杂。本发明对波导的指定区段进行离子掺杂，与光子芯片或者晶圆的制造工艺兼容性好，易于实现，制作成本低，可以实现晶圆级大规模制造。