一种8管高产能PECVD设备

摘要

本发明公开了一种8管高产能PECVD设备，包括底板与工作台，所述底板的一侧与工作台的一侧固定连接，本发明涉及工艺设备技术领域。该8管高产能PECVD设备，通过在底板顶部的一侧固定连接有气源柜,气源柜的一侧固定连接有主机柜，工作台顶部的一侧固定连接有密封炉，密封炉的一侧与主机柜的一侧固定连接，工作台的顶部固定连接有工作框，工作框的一侧与密封炉的一侧固定连接，工作框的顶部固定连接有安装板，工作台一侧的顶部固定连接有滑轨，滑轨的顶部滑动连接有送料架，工作框的内部滑动连接有推拉舟，可以有效地实现对于PECVD设备单位面积的缩减，降低企业单位使用该PECVD设备所需要占用面积，有效地提高单位面积的设备产能。