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彭宜昌; 唐电; 张威; 杨彬; 陈特超;
湖南红太阳光电科技有限公司 湖南 长沙 410111;
平板式PECVD设备; 钝化膜; 微波; 等离子体; 反应室; 太阳能电池;
机译:微波等离子体炬大气压PECVD沉积均匀TiO_2薄膜的动态模式优化
机译:有机硅微波等离子体化学气相沉积(PECVD)涂层中等离子体后反应的固态核磁共振研究。
机译:调制微波等离子体射流中常压下纳米结构SiO_2的PECVD
机译:一步微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)用于透明的SnPerhydrophociC表面
机译:使用叔丁醇ha(IV)通过CVD和PECVD沉积的固态晶体管栅极应用的based基高k薄膜的特性表征。
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机译:用微波等离子体火炬通过大气压PECVD对均匀TiO2薄膜沉积的动态模式优化
机译:用于电热推进器的高功率微波等离子体的初步研究
机译:使用微波等离子体对空心体进行PECVD内部涂层的方法和装置
机译:高透光玻璃,具有与高透光玻璃相同的生产能力的激光单元
机译:具有PECVD润滑层的注射器,将容器运入PECVD处理站和从PECVD处理站运出的设备和方法,以及双层塑料容器
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