用于晶圆干燥装置的推梢以及晶圆干燥装置

摘要

本发明涉及一种用于晶圆干燥装置的推梢以及一种晶圆干燥装置。所述推梢为柱形，顶部具有凹陷部，用于放置晶圆；当晶圆放置于所述推梢顶部时，所述晶圆表面与凹陷部的长度方向平行，晶圆的部分边缘位于所述凹陷部内。所述用于晶圆干燥装置的推梢能够避免晶圆自推梢顶部滑落。