一种12管高产能PECVD设备

摘要

本发明公开了一种12管高产能PECVD设备，包括气源柜、主机和工作台框架，气源柜的右侧与主机的左侧固定连接，主机的右侧与工作台框架表面的一侧固定连接，工作台框架的顶部固定连接有加热炉体，加热炉体的表面活动连接有真空炉门机构，加热炉体的表面固定连接有自动控制系统，本发明涉及太阳能电池技术领域。该12管高产能PECVD设备，通过加热炉体、自动送取料系统和推拉舟使得载有待镀膜晶片的石墨舟传送给上下料机械手，通过这个全自动机械手的精准定位，把石墨舟放到每管对应的推拉舟上，然后再由推拉舟送入工艺管内，晶片在工艺管内，通过密封炉门机构和真空系统，达到所需要的工艺真空度，然后通入工艺气体。