公开/公告号CN109164674A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡中微掩模电子有限公司;
申请/专利号CN201811000541.9
申请日2018-08-30
分类号
代理机构连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人刘刚
地址 214000 江苏省无锡市新区菱湖大道202号
入库时间 2024-02-19 06:47:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/26 申请日:20180830
实质审查的生效
2019-01-08
公开
公开
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