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用相移掩模技术制作光纤光栅方法

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本文简要介绍一种用无铬相移掩模技术制作光纤光栅的原理和方法.系统中采用可移动反射镜使激光束沿排模-光纤组合体扫描,逐次曝光光纤.该方法既便于调整系统,增强曝光能量,反可制作长尺寸光纤光栅.

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来源
《2002年全国光电技术学术交流会》|2002年|561-562|共2页
会议地点成都
作者
冯伯儒; 张锦; 宗德蓉; 蒋世磊;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外光学器件;制造工艺及设备;
关键词
相移掩模; 干涉曝光; 光纤光栅;

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