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半導体大規模集積回路(LSI)における導電体薄膜および薄膜界面物性に及ぼす微量不純物の影響ならびに評価技術に関する研究

机译:研究微量杂质对半导体大规模集成电路(LSI)中的导体薄膜和薄膜界面物理性能的影响及评估技术。

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