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Fabrication of Replica Mold by Room Temperature Nanoimprinting using Organic Spin-on-glass

机译：使用有机旋转玻璃通过室温纳米修印机制造复制品模具

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Makoto Okada; Masatoshi Maeda; Satoshi Shimatani; Shoji Otaka; Shinji Matsui;
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年度 2010
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