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【2h】

Study on UV / EB Nanoimprint Lithography Using Nano-/ Micro-fabricated Crosslinked PTFE Mold

机译：使用纳米/微制成交联PTFE模具研究UV / EB纳米压印光刻

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Tomohiro Takahashi; Yuya Takasawa; Tomoko Gowa; Satoshi Okubo; Takashi Sasaki; Takaharu Miura; Akihiro Oshima; Seiichi Tagawa; Masakazu Washio;
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年度 2010
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