ADHESION; AUGER SPECTROSCOPY; CERAMICS; METAL COATINGS; SPUTTERING; THIN FILMS; VAPOR DEPOSITION; WEAR TESTS; ELECTRON SPECTROSCOPY; SILVER; SUBSTRATES; TITANIUM;
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机译:从可旋转陶瓷靶溅射沉积制备的硅薄膜太阳能电池用掺杂铝的氧化锌膜