空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(下)

摘要

图4a和4b分别为在UV-近红外光谱，刚沉积和经后退火工艺两种情况下的TiO2膜。以上两种情况在可见光区域透射比几乎相同，与后退火无关。O2流量为10～50sccm时，沉积的TiO2膜在可见光区域具有的高透射比约为0．70。