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Diffusion of impurities into silicon from gaseous sources

机译：杂质从气态源扩散到硅中

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Diffusion of impurities into silicon from gaseous sources

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作者
Mc Louski, R. M.;
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作者单位

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年度 1966
页码 1-28
总页数 28
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
DIFFUSION; GASEOUS DIFFUSION; IMPURITIES; P-N JUNCTIONS; SILICON; GASEOUS DIFFUSION; SILICON;

机译：扩散;气体扩散;杂质; p-N结;硅;气体扩散;硅;

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