Coatings; Ultraviolet Radiation; Reflectivity; Molybdenum Alloys; Silicon Alloys; Beryllium Alloys; Annealing; Meetings;
机译:具有偏差沉积的磁控溅射沉积的低应力和高反射率Mo / Si多层,偏差沉积
机译:用于极端紫外线光刻的0.3数值孔径微曝光工具的亚衍射极限多层涂层
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机译:减少和补偿用于极紫外光刻的高反射多层膜中膜应力的研究进展
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:能够扩展可编程药物释放的多层薄膜涂层:对人间充质干细胞分化的应用
机译:超越紫外线的用于光刻的多层涂料的波长选择