公开/公告号CN107797392B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201711115938.8
发明设计人 郭晓波;
申请日2017-11-13
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31272 上海申新律师事务所;
代理人俞涤炯
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 11:07:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
授权
授权
2018-04-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20171113
实质审查的生效
2018-03-13
公开
公开
机译: 减少包含由发动机中的燃料燃烧形成的气体的废气流中的至少一种污染物的设备和方法,增加发动机氧传感器寿命和性能的方法以及紧凑的电晕放电装置以在发动机中形成废气电晕放电减少至少一种污染物的内燃机排气系统
机译: 一种利用微波将矿物材料夹在矿物颗粒层之间的水层进行膨胀的方法,膨胀机,使用微波处理原材料的方法,将微波应用于物料进料的方法,生产石油或天然气的方法减少烃污染基质中碳氢化合物含量的方法,微波治疗仪和增加要用微波辐照的原料的功率密度的方法
机译: Cvd-一种减少颗粒的系统和方法-cvd中的污染-该方法。