パーティクル計測技術：FOUP内のコンタミネーションの評価－密閉容器内のパーティクルと分子状汚染物質の評価方法を探る

摘要

FOUP (Front opening unified pods)は世界中の300mmFabに導入されており局所クリーン化と搬送システムを結合させた革新的な量産技術である。 FOUP自体はウェーハを収納するドア付きの密閉容器であり、クリーンルーム環境から遮断したままで加工装置間の搬送を可能とした特長を有している。 FOUPの筐体(Cell)はPC (Polycarbopate)、機能部品はPP (Polypropylene)やPOM (Polyoxymethylene)などのエンジニアリングプラスチックスなどで構成されていることから、材料からの脱ガス(degassing)によるウェーハへの有機汚染が議論されていた。 また、加工時に使用する種々の化学物質の残留物がウェーハからFOUP内に直接持込まれ、密閉された状態のままでウェーハ自体が直接的に或いは間接的に汚染される現象を引き起こすことがある。 しかしながら、これらの汚染をどのように評価するのかはSEMI (Semiconductor equipment & material international)規格で標準化されているものの、ウェーハプロセスで生じる固有のトラブルがデバイスメーカーサイドのプロセス技術の問題として解決されるため、グローバルスタンダードとしてのSEMI規格を用いることと現状とは相当な乖離がある。 しかしながら、FOUPやEFEM (Equipment front end module)、あるいはロードポートや搬送システムのパーティクルやケミカル汚染の評価には機種選定やシステムの横並びの評価にはSEMI規格に基づいた共通の判断基準が必要である。本稿では、分析方法の具体的方法については別報に委ね、評価方法の全体に関して述べる。