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机译:用于极端紫外线光刻的0.3数值孔径微曝光工具的亚衍射极限多层涂层
Lawrence Livermore National Laboratory, 7000 East Avenue, Livermore, California 94550;
optical design and fabrication; lithography; roughness; X-ray imaging; thin films;
机译:用于极端紫外线光刻的0.3数值孔径微曝光工具的亚衍射极限多层涂层
机译:使用0.3数值孔径微曝光工具光学元件在高级光源下进行极端紫外线微曝光
机译:基于高级光源的基于同步加速器的0.3数值孔径极紫外微曝光工具的特性
机译:数值孔径为0.5的极紫外光刻(EUVL)微场曝光工具(METs)的投影光学
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:高数值孔径多层劳厄透镜
机译:用于极端紫外线光刻(EUVL)微场曝光工具(METS)的投影光学器件,数值孔径为0.5