Engineering; Actuators; Electric conductivity; Heat transfer; Thermal conductivity; Validation; Mathematical models; Microelectronics; Temperature distribution;
机译:用于RF开关的基于V形的V形金属的热驱动MEMS致动器的非线性动态模型
机译:热驱动V形MEMS致动器的大规模
机译:原型MEMS安全装置的电热执行器的制造工艺比较和动力学评估
机译:原型热增强型聚合物换热器的建模和验证
机译:一种用于测量粘度的热驱动微机电(MEMS)设备。
机译:V形电热MEMS执行器与人为误差因子的宏观建模
机译:验证原型mEms热执行器的热模型。