横向热驱动微执行器的流热模型及模拟

摘要

该文首先建立了一个横向热驱动微执行器的热流模型。由于这个模型比较全面地考虑了热传导、空气自然对对流和辐射散热等各种因素，因而较为正确地反映了器件的温度分布和工作过程。用合适的数值算法计算了温度分布，温度分布的结果可以作为进一步计算器件热应力和位移的基础。将该程序插入到研究人员用Dplphi开发的SEMEMS模拟器，使其有良好的输入输出界面，可用于其它电热执行器的模拟。