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Near IR Absorption in Films of Silicon Containing Oxygen.

机译：含氧硅膜中近红外吸收。

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作者
Sari, S. O.; Smith, P. H.;
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作者单位

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年度 1977
页码 1-5
总页数 5
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Silicon; Films; Impurities; Oxygen; Infrared spectra; Absorption spectra; Vapor deposition; Reprints; Near infrared radiation;

机译：硅;薄膜;杂质;氧;红外光谱;吸收光谱;气相沉积;重印;近红外辐射;

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