Deposition; Niobium compounds; Nitrides; Plasmas(Physics); Sputtering; Thin films; Control; Electrical properties; Flow; Flux(Rate); Ion density; Ion beams; Nitrogen; Parameters; Phase; Reactivities; Regions; Reprints; Response; Substrates; Surfaces; Targets; Triodes;
机译:反应溅射NbN薄膜的生长,热稳定性和Cu扩散作为Cu和Si之间的扩散阻挡层
机译:反应磁控溅射沉积在等离子体活化腹肌中CrN薄膜的性质
机译:使用反应磁控溅射将NbN薄膜沉积到高速钢上以进行腐蚀防护应用
机译:反应性-DC-磁控溅射与离子束溅射和电子束蒸发膜沉积的氧化膜光学性质的比较
机译:通过多离子束反应溅射沉积的铁电钛酸铅镧薄膜的组成/结构/性质关系。
机译:反应和非反应溅射Zr-Al-N薄膜在退火过程中的结构和力学演变
机译:反应溅射NbN薄膜的微波表面电阻
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