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黄宁康; 陈元儒;
不详;
溅射; 沉积; 氧化锆; 薄膜; 离子束;
机译:氩离子束辅助磁控溅射沉积具有改进导电性的掺硼a-Si:H薄膜
机译:到达比和倾斜角对离子束辅助沉积氧化钇稳定的氧化锆薄膜取向竞争的影响
机译:离子束辅助溅射沉积制备氧化钇稳定的氧化锆薄膜的取向竞争
机译:离子束辅助沉积制备的氧化钇稳定的氧化锆薄膜的面内纹理研究
机译:反应溅射沉积的氧化锆和氧化钇稳定的氧化锆涂层的相形成和微观结构。
机译:离子束辅助沉积外延GaN薄膜
机译:离子束辅助沉积TiOx层覆盖的Copt薄膜的氧化学计量依赖性微观结构和磁性
机译:通过离子束辅助沉积沉积双轴织构的氧化钇稳定的氧化锆。
机译:离子束辅助气相沉积制备光学薄膜的方法和装置
机译:用磁控反应溅射沉积代替铬镀层制备高沉积速率的碳化钨薄膜的方法
机译:使用能量,金属离子和氩离子的直度来充分填充接触孔的方法,用于抑制射频线圈上的金属沉积以减少颗粒和形成热冲击并形成平坦薄膜的沉积装置
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