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黄宁康;
无;
离子束反应; 溅射; 沉积; 氧化锆; 薄膜;
机译:使用直流离子束源通过金属锆的反应溅射制备的亚化学计量的氧化锆薄膜
机译:双离子束反应溅射沉积SiCN薄膜的结构和光致发光性能
机译:反应溅射沉积四方氧化锆薄膜(3Y-TZ)
机译:由单离子束反应溅射沉积的纳米结构锡薄膜
机译:反应溅射沉积的氧化锆和氧化钇稳定的氧化锆涂层的相形成和微观结构。
机译:离子束辅助沉积外延GaN薄膜
机译:用于沉积氮化铌薄膜的离子束反应溅射工艺
机译:溅射沉积氧化锆 - 氧化钇薄膜的微观结构和相组成
机译:用磁控反应溅射沉积代替铬镀层制备高沉积速率的碳化钨薄膜的方法
机译:反应溅射沉积的方法和反应溅射沉积系统
机译:改善离子束溅射系统中离子束沉积薄膜性能的方法和装置
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