摘要
1绪论
1．1研究背景及意义
1．2激光薄膜研究方面
1．2．1研究现状
1．2．2提高激光薄膜损伤闶值的措施
1．3离子束在薄膜工艺中的应用
1．3．1离子束辅助沉积
1．3．2离子束处理
1．4主要工作
1．4．1主要研究内容
1．4．2总体研究思路
1．5章节安排及内容
2薄膜性能表征
2．1薄膜光学性能的表征
2．1．1薄膜光学常数的表征
2．1．2薄膜光谱的表征
2．2薄膜激光损伤特性的表征
2．2．1薄膜激光损伤阈值测试系统
2．2．2激光损伤阈值的检测方法
2．3薄膜表面质量的表征
2．4小结
3离子束基片清洗对薄膜性能的影响
3．1实验条件
3．1．1实验设备
3．1．2实验参数
3．2离子束基片清洗对成膜性能的影响
3．2．1离子束基片清洗去除表面残留
3．2．2对薄膜光学常数的影响
3．2．3对薄膜表面粗糙度的影响
3．3离子束基片清洗对薄膜激光损伤特性的影响
3．3．1对薄膜激光损伤阈值的影响
3．3．2对薄膜激光损伤形貌的影响
3．4小结
4薄膜沉积过程中的离子束辅助效应
4．1离子与膜层的作用机理
4．2离子束辅助沉积对薄膜性能的影响
4．2．1实验条件
4．2．2离子束辅助对薄膜光学性能的影响
4．2．3离子束辅助对激光损伤阈值的影响
4．3离子能量对薄膜性能的影响
4．3．1实验条件
4．3．2对薄膜光学常数的影响
4．3．3对薄膜激光损伤阈值的影响
4．4不同沉积温度对离子束辅助沉积薄膜的影响
4．4．1薄膜样品的制备
4．4．2不同沉积温度对薄膜光学常数的影响
4．4．3不同沉积温度对ZnS薄膜表面形貌的影响
4．4．4不同沉积温度对ZaS薄膜激光损伤阈值的影响
4．5小结
5离子束后处理
5．1离子束后处理对单层ZnS薄膜的影响
5．1．1薄膜样品的制备
5．1．2薄膜的光学常数
5．1．3薄膜表面形貌
5．1．4薄膜激光损伤阈值
5．2栅网材料对单层ZnS薄性能的影响
5．2．1栅网材料对薄膜光学性能的影响
5．2．2薄膜表面形貌分析
5．2．3栅网材料对薄膜激光损伤特性的影响
5．3两种不同后处理方式对薄膜的影响
5．3．1薄膜样品的制备
5．3．2不同脉冲数和能级激光辐照下薄膜的光学常数
5．3．3不同激光能量下薄膜的的损伤形貌
5．3．4激光辐照后的表面粗糙度
5．3．5不同激光能量辐照后薄膜的损伤阈值
5．4小结
6多层介质膜的离子束辅助沉积
6．1窄带滤光膜的离子束辅助沉积
6．1．1膜料优选
6．1．2膜系设计
6．1．3离子束辅助沉积窄带滤光膜
6．2离子束后处理对多层介质滤光膜的影响
6．2．1样品制备
6．2．2离子束处理对窄带滤光膜光谱的影响
6．2．3离子束后处理对薄膜激光损伤阈值的影响
6．3小结
7．1结论
7．2展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及成果
致谢
声明
西安工业大学;
