一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备

摘要

本实用新型公开了一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室和箱体，所述箱体位于真空室外部一侧，所述真空室内部上侧设有高能离子源，所述高能离子源一侧设有低能离子源，所述真空室底部连接加温室，所述加温室内部上侧连接加温管道，所述加温管道底部设有暖风机。本实用新型通过设置真空度检测仪和滑动板，有效的避免真空室中空气的就进入，有效的营造良好的真空环境，通过设置暖风机和加温管道，有效的帮助离子束在沉积的过程中起到加温蒸发的作用，有效的提升离子束辅助沉积光通信薄膜设备的工作效率，通过设置减震器，有效的减少暖风机在工作时产生的震动。