机译:纯光和异价掺杂氧化锆薄膜中的光子辐照诱导的结构和界面现象
UV photon thin film synthesis; zirconia; oxygen vacancies; ULTRAVIOLET-OZONE OXIDATION; STABILIZED ZIRCONIA; OXYGEN DIFFUSION; GATE DIELECTRICS; CRYSTALLIZATION; ZRO2; ELECTROLYTES; SUBSTRATE; GROWTH; HFO2;
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