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机译:新型单深波纹膜片改善了灵敏度,改进了硅电容麦克风
Silicon; Micro-machining; Microphone; Mechanical-sensitivity; Corrugated diaphragm;
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机译:波纹隔膜的单芯片微型硅冷凝器麦克风的理论和实验研究
机译:波纹膜片单芯片微型硅电容传声器的理论和实验研究
机译:具有高灵敏度圆形波纹膜片的单芯片电容式微型麦克风
机译:微型硅麦克风振膜的测量和特性。
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
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机译:波纹金属膜片的限制有用偏转