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机译:硅各向异性刻蚀,不会用溶解在TMAH溶液中的Si和氧化剂侵蚀铝
aluminum; oxidizing agent; Si anisotropic etching; tetramethyl ammonium hydroxide;
机译:硅各向异性刻蚀,不会用溶解在TMAH溶液中的Si和氧化剂侵蚀铝
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机译:碱性溶液中的硅各向异性刻蚀IV有机和无机试剂对硅各向异性刻蚀工艺的影响
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机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
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机译:硅太阳电池随机组织的各向异性刻蚀工艺优化