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机译:带有电容感应的静电驱动二维微扫描镜,用于投影显示
Capacitive sensor; CMOS; Electrostatic actuation; MEMS; Oscillator; Phase-locked loop;
机译:带有电容感应的静电驱动二维微扫描镜,用于投影显示
机译:基于电容电荷的谐振静电MEMS镜的自感应
机译:利用静电摩擦调制和电容式位置感测的多用户表面可视触觉显示器
机译:晶圆级真空封装的微扫描镜,用于紧凑型激光投影显示器
机译:静电驱动2D MEMS微镜。
机译:用于二维光栅扫描的静电梳理MEMS扫描镜的开发
机译:用于投影显示的电磁驱动的压制式CMOS MEMS扫描镜