机译:散装含氧吸收中心的无位错单晶大直径硅晶片热处理下的缺陷形成特征
Silicon; Microdefect; Mathematical modeling; Getter; Vacancy; Interstitial atom;
机译:散装含氧吸收中心的无位错单晶大直径硅晶片热处理下的缺陷形成特征
机译:无晶体位错硅的CZ块生长和晶圆退火的热优化
机译:通过内部吸气法在克拉克拉斯基生长的硅片中形成剥蚀区和整体微缺陷
机译:掺氮底物的P / P〜-表位硅晶片的大块微缺陷及其吸气性能
机译:研究碳化硅的外延层和块状晶体的生长过程和缺陷形成。
机译:由大块晶片产生的大量单晶硅微/纳米带