...
机译:使用N2促进钝化的氯ICP蚀刻制造的极高纵横比的GaAs和GaAs / AlGaAs纳米波导
aspect ratio; chlorine; sidewall slope;
机译:使用N2促进钝化的氯ICP蚀刻制造的极高纵横比的GaAs和GaAs / AlGaAs纳米波导
机译:氯/氩混合中性束对GaAs / AlGaAs异质纳米结构的无缺陷刻蚀工艺
机译:适用于光电子,微电子和微系统应用的先进且可靠的GaAs / AlGaAs ICP-DRIE蚀刻
机译:使用CL
机译:具有高纵横比和低传输损耗的GaAs / AlGaAs亚微米级波导,用于波长转换。
机译:输出电源限制和被动模式锁定GaAs / Algaas量子阱激光器的改进
机译:栅极长度短的GaAs / AlGaAs / InGaAs伪变形MODFET的选择性反应离子刻蚀
机译:氯离子束辅助微加工制备单片二维Gaas / alGaas激光器阵列