机译:带有硅悬臂的金属探针的制造,用于基于探针的铁电数据存储及其耐久性实验
fabrication; metallic tips; durability experiment;
机译:带有硅悬臂的金属探针的制造,用于基于探针的铁电数据存储及其耐久性实验
机译:CMOS电路上的热压电Si3N4悬臂阵列,用于基于高密度探针的数据存储
机译:基于探针的铁电数据记录的贵金属涂层原子力显微镜探针的纳米力学和纳米摩擦学表征
机译:低功率纳米数据存储的氮化硅悬臂梁的制造与仿真
机译:先进的硅微机械悬臂,用于原子力显微镜数据存储。
机译:在分批制造过程中将尖锐的氮化硅尖端集成到高速SU8悬臂中
机译:基于超高密度探头的铁电薄膜