机译:使用Sb和P的共注入,在1 X 10(20)cm(-3)的活性浓度下激活Ge中的n型掺杂物。
GERMANIUM; DIFFUSION; SILICON; DAMAGE;
机译:使用Sb和P的共注入,在1 X 10(20)cm(-3)的活性浓度下激活Ge中的n型掺杂物。
机译:注入锗的n型掺杂剂P,As和Sb扩散和活化的实验和模拟
机译:关于在1500-1950℃的退火温度下1×10〜(20)cm〜(-3)离子注入4H-SiC中的Al的电活化
机译:关于在1500-1950°C范围内的4H-SiC中的1×10〜(20)cm〜(-3)离子植入Al的电气激活Al
机译:外延氮化镓中的离子植入损伤,退火和掺杂剂活化
机译:用于n型有机热电的热活化和高度易溶的掺杂剂
机译:稀释N型植入碳化硅中的主动掺杂剂分析和欧姆接触行为