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机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀氧化镍薄膜的刻蚀特性
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机译:CoFeSiB磁性膜的感应耦合等离子体反应性离子刻蚀对磁性随机存取存储器的刻蚀特性
机译:TiO2薄膜的电感耦合等离子体反应离子刻蚀特性
机译:电感耦合等离子体反应离子蚀刻钛酸铅薄膜用于MEMS应用
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:高kk电介质HfO(2)薄膜在电感耦合碳氟化合物等离子体中的蚀刻特性