公开/公告号US5382320A
专利类型
公开/公告日1995-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 CERAM INCORPORATED;SHARP KABUSHIKI KAISHA;VIRGINIA POLYTECHNIC INSTITUTE AND STATE UNIVERSITY;
申请/专利号US19930096171
发明设计人 SESHU B. DESU;WEI PAN;
申请日1993-07-22
分类号H01L21/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 04:05:35