机译:碱性浆料中过氧化氢对化学机械抛光中多晶Ge2Sb2Te5薄膜抛光速率的影响
Hydrogen Peroxide; Alkaline Slurry; Chemical Mechanical Polishing;
机译:碱性浆料中过氧化氢对化学机械抛光中多晶Ge2Sb2Te5薄膜抛光速率的影响
机译:碳掺杂无定形GE2SB2T5薄膜用过氧化氢作为碱性浆料的化学机械平面化
机译:谷氨酸-过氧化氢基浆料中铜化学机械抛光的电化学表征
机译:氢氧化钾化学机械抛光浆料中GE2SB2TE5薄膜的电化学感应
机译:用于微电子应用中的多晶硅,二氧化硅和氮化硅膜化学机械抛光的新型浆料配方和相关机理。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:过氧化氢和氧化铝对柠檬酸浆料中铜化学机械抛光表面特性的影响