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Investigating the Parameters of Electron Beams in the Presence of Ion Compensation of the Charge Using the 'Hole Chamber' Method

机译:使用“孔腔”方法研究在电荷进行离子补偿时的电子束参数

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摘要

The parameters of electron beams produced by a hollow-anode gas-discharge electron gun based on a glow discharge and operated in an ion focusing mode at medium and low vacuum have been investigated. The "hole chamber" method is proposed. Using a device based on this method, it is possible to measure the electron beam parameters with a high efficiency under conditions of ion focusing when testing the performance of the gas-discharge electron gun in technological processes.
机译:研究了基于辉光放电的空心阳极气体放电电子枪产生的电子束的参数,该离子束在离子聚焦模式下在中真空和低真空下工作。提出了“孔室”方法。使用基于该方法的装置,当在工艺过程中测试气体放电电子枪的性能时,可以在离子聚焦条件下高效地测量电子束参数。

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