机译:SiC / Si杂交基材上的原子层沉积CDS立方相的低温生长
Russian Acad Sci Inst Problems Mech St Petersburg 199178 Russia;
Russian Acad Sci Inst Problems Mech St Petersburg 199178 Russia;
St Petersburg State Univ St Petersburg 199034 Russia;
St Petersburg State Univ St Petersburg 199034 Russia;
St Petersburg State Univ St Petersburg 199034 Russia;
cadmium sulfide; silicon carbide; heterostructures; atomic-layer deposition method; dielectric function; ellipsometry;
机译:超净低压化学气相沉积法在Si(100)上低温Si外延生长中B的重原子层掺杂
机译:SiC / Si杂交基材上的原子层沉积硫化锌的外延生长
机译:1,3-二硅丁烷的高真空化学气相沉积在Si(001)上生长立方SiC薄膜以及沉积压力影响的研究
机译:低温立方SiC对倾斜和非倾斜(100)Si的生长,具有60 V击穿肖特基障碍
机译:Si衬底取向对通过闭空间升华(CSS)在不使用掩模的情况下对Si(111)和Si(211)衬底上CdTe选择性生长的质量的影响
机译:立方SiC(111)∕ Si(111)衬底上的外延石墨烯
机译:通过化学气相沉积法在Si和C面4H SiC衬底上生长和表征SiC外延层
机译:用于鲁棒微机电系统应用的低应力非晶si3N4 / si衬底上siC薄膜的生长和掺杂