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机译:均匀皱纹二氧化硅纳米粒子的制备及其在化学机械平坦化中的磨料中的应用
Seoul Natl Univ WCU Program Chem Convergence Energy &
Environm C2 Sch Chem &
Biol Engn 1 Gwanak Ro Seoul 08826 South Korea;
Seoul Natl Univ Inst Chem Proc Sch Chem &
Biol Engn 1 Gwanak Ro Seoul 08826 South Korea;
Seoul Natl Univ WCU Program Chem Convergence Energy &
Environm C2 Sch Chem &
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Seoul Natl Univ WCU Program Chem Convergence Energy &
Environm C2 Sch Chem &
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Environm C2 Sch Chem &
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Environm C2 Sch Chem &
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Samsung Elect Semicond Div Foundry Mat Technol Grp 1 Samsung Ro Yongin 17113 Gyeonggi Do South Korea;
Seoul Natl Univ Inst Chem Proc Sch Chem &
Biol Engn 1 Gwanak Ro Seoul 08826 South Korea;
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Environm C2 Sch Chem &
Biol Engn 1 Gwanak Ro Seoul 08826 South Korea;
mesoporous silica nanoparticles; wrinkled silica nanoparticles; cooling process; abrasives; chemical mechanical planarization;
机译:均匀皱纹二氧化硅纳米粒子的制备及其在化学机械平坦化中的磨料中的应用
机译:用于亚微米集成电路制造的化学机械平面化过程中的材料去除区域:浆料化学物质,磨料尺寸分布和晶片-焊盘接触面积的耦合效应
机译:用于亚微米集成电路制造的化学机械平面化过程中的材料去除区域:浆料化学物质,磨料尺寸分布和晶片-焊盘接触面积的耦合效应
机译:荧光相关光谱在化学机械平面化胶态二氧化硅磨料粒度分布表征中的应用
机译:使用气相二氧化硅磨料对铜/钽薄膜进行化学机械平面化的机理。
机译:功能性木质素-二氧化硅杂化填料的理化特性在磨具中的潜在应用
机译:在抛光镓砷化镓晶片后化学机械平坦化浆料中急性和慢性毒性胶体氧化钛纳米粒子