机译:P型氧化亚铜薄膜,具有高功率脉冲磁控溅射沉积的高电导率
UTBM Univ Bourgogne Franche Comte Inst FEMTO ST CNRS UMR 6174 Site De Montbeliard F-90010 Belfort France;
Ming Chi Univ Technol Dept Mat Engn Taipei 243 Taiwan;
Natl Taiwan Univ Inst Mat Sci &
Engn Taipei 106 Taiwan;
Natl Taiwan Univ Inst Mat Sci &
Engn Taipei 106 Taiwan;
UTBM Univ Bourgogne Franche Comte Inst FEMTO ST CNRS UMR 6174 Site De Montbeliard F-90010 Belfort France;
UTT ICD LASMIS Inst Charles Delaunay Lab Syst Mecan &
Ingn Simultanee UMR CNRS 6279 Antenne Nogent 52 F-52800 Nogent France;
UTBM Univ Bourgogne Franche Comte Inst FEMTO ST CNRS UMR 6174 Site De Montbeliard F-90010 Belfort France;
Cu2O thin films; p-type conductivity; HiPIMS; Duty cycle; p-n homojunction; Solar cell;
机译:P型氧化亚铜薄膜,具有高功率脉冲磁控溅射沉积的高电导率
机译:高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射技术沉积的低电阻率Ru_(1-x)Ti_xO_2薄膜
机译:高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射在含氢等离子体中沉积的β-Ta和α-Cr薄膜
机译:射频磁控溅射沉积Zn3N2氧化制备p型ZnO纳米薄膜
机译:用于薄膜晶体管应用的氧化锌的反应性大功率脉冲磁控溅射
机译:大功率脉冲磁控溅射镍薄膜的斜角沉积
机译:通过高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射在含氢等离子体中沉积的β-Ta和α-Cr薄膜