ミニマルマスクレス露光装置：フォトリソグラフィーの低ランニングコストを実現

摘要

半導体産業の根本的な課題の一つである長納期かつ高額なマスクやレチクルを不要とし、ミニマル規格に準拠した、光源にLEDを採用した超小型紫外光マスクレス露光装置を開発した。これによってデバイス設計から試作までが短期間かつ低コストで可能となる。